变温铁电材料测试系统

FETS-2000是一款扩展灵活的变温铁电材料测试系统，也是一款可替代德国aixACCT公司生产的TF Analyzer 2000铁电分析仪的国产铁电材料性能测试设备，可广泛地应用于如各种铁电/压电/热释电薄膜、厚膜、体材料和电子陶瓷、铁电传感器/执行器/存储器等领域的研究。

铁电参数测试主要性能指标：

a. 外接5 kV高压放大器（可扩展至10 kV）（国产、进口均适用）；

b. 动态电滞回线测试频率范围0.01 Hz ～ 5 kHz；

c. 最大电荷解析度：10 mC（可扩展）；

d. 疲劳测试频率300 kHz（振幅10 Vpp，负载电容1 nF）；

e. 漏电流测量范围 1 pA ～ 20 mA（可扩展），分辨率0.1 pA；

f. 配有高压击穿保护模块；

g.温度范围：-160℃～260℃。

本测试系统由主控器、高压放大器、变温综合测试平台（配铁电测试盒）或高低温探针台（配高压探针）、计算机及系统软件部分组成。主控器集成了可编程波形发生器、内置驱动电压、电荷积分器、可编程放大器、模数转换器、通讯总线等功能，主控器提供扩展外置高压放大器接口，可扩展±5 kV或±10 kV的高压放大器。系统软件包括可视化数据采集和管理功能，测试时，无需改变测试样品的连接，即可实现滞回，脉冲，漏电，IV等性能测试。

本测试系统铁电性能测试采用改进的Sawyer- Tower测量方法，与传统的Sawyer- Tower模式相比，此电路取消了外接电容，可减小寄生元件的影响。此电路的测试精度仅取决于积分器积分电容的精度，减少了对测试的影响环节，容易定标和校准，并且能实现较高的测量准确度。

变温铁电材料测试系统采用模块化设计，不同的模块对应不同的电特性测量。

铁电模块测试功能：

动态电滞回线DHM

静态电滞回线SHM

I-V特性

脉冲PUND

疲劳Fatigue

电击穿强度BDM

漏电流LM

电流-偏压

保持力RM

印迹印痕IM

变温测试THM

可选的模块：

POM 模块实现极化测量功能

CVM模块实现小信号电容测试，获得C-V曲线

PZM模块实现压电特性测试

DPM模块测试介电性能

RTM模块测试电阻/电阻率性能

CCDM模块实现电容充放电测试。